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符合半導(dǎo)體行業(yè)氣體供給系統(tǒng)的集成化產(chǎn)品。此產(chǎn)品能與分離式壓力表（ZT60、ZT67）聯(lián)合使用。該產(chǎn)品有W-seal和C-seal兩種表面安裝方式可供選擇。材質(zhì)為Co-Ni合金的傳感器元件，具有卓越的可靠性和耐久性。