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為各種半導體供給系統(tǒng)及制造設(shè)備專門開發(fā)制造的小型調(diào)壓閥。

產(chǎn)品體積小，與小型化對應(yīng)；
在凈化車間內(nèi)進行組裝檢查和包裝，抑制微粒進入產(chǎn)品內(nèi)部；
帶有二次側(cè)壓力監(jiān)測用壓力表。